Pro odsávání prachu jemných částic je nutná vícestupňová filtrace například sestavením patronového odsavače POC, s vodním před-filtrem, společně s druhou komorou filtrace, a volbou filtračního média např. KF4, nebo KF5, které jsou určena pro filtraci velmi jemných prachů od tryskání, broušení litiny, nebo vápenného prachu vznikajícího při zpracování kamene apod.
Podobně se dají využít i větší odsavače FM s vhodnou volbou filtračních patron.
Pro nejjemnější prachové částice se často využívají elektro filtry.